CN2666928一种等离子热丝法化学气相沉积金刚石膜的装置

• 来源期刊: 磨料磨具通讯
• 学科: 物理学
• 关键词: 热丝法化学气相沉积 化学气相沉积装置 类金刚石膜 等离子 实用新型 辉光放电 薄膜材料 直流电源
• 年，卷（期）: 2007,（2）
• 页码范围: 37
• 页数: 1页
• 分类号: O484.1

摘要

本实用新型涉及一种等离子热丝法化学气相沉积金刚石膜的装置，属于化学气相沉积领域。本实用新型在传统热丝法化学气相沉积装置中引入等离子辉光放电，即在化学气相沉积装置真空室中的热丝的上方设置一上电极，在基台和上电极上的可调圆盘之间通过直流电源施加较高的偏压，使基台与圆盘之间产生辉光放电，从而极大的提高了金刚石膜的生长速率；而且由于灯丝上不再施加偏压，故其使用寿命得到大幅度提高。另外，本实用新型装置可在50Pa至6000Pa气压范围方便的进行金刚石膜等薄膜材料的掺杂沉积，还可以用于制备类金刚石膜、氮化碳膜、氮化硼膜、碳化硅膜等薄膜和掺杂沉积，应用范围非常广泛。