SB6键合机工艺腔净化过程的软件改进

• 作者: 吴璟 殷履文 王敏杰 王长发
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: SB6键合机 分子泵 分子气流 工艺腔净化工艺
• 年，卷（期）: 2007,（5）
• 所属期刊栏目: 专题报道(封装工艺技术)
• 页码范围: 29-33,54
• 页数: 6页
• 分类号: TN305.96
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4507.2007.05.007

摘要

分子泵是高真空系统的核心部件,通过对SB6键合机真空系统和分子泵特性的分析,总结讨论了3个可能导致分子泵损坏的键合工艺过程,最后,提出对工艺腔净化过程的一个软件改进办法,这个改进的思路对从事半导体设备维修的专业人员而言是有一定帮助的.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王敏杰		1	0	0.0	0.0
2	吴璟		1	0	0.0	0.0
3	殷履文		1	0	0.0	0.0
4	王长发		1	0	0.0	0.0