利用脉冲准分子激光在ZnS上沉积类金刚石薄膜

• 作者: 刘晶儒 叶景峰 叶锡生 王晟 王立君 白婷
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 工学
• 关键词: 薄膜 类金刚石薄膜 脉冲准分子激光沉积
• 年，卷（期）: 2007,（7）
• 所属期刊栏目: 薄膜
• 页码范围: 992-997
• 页数: 6页
• 分类号: TN249|O484.1
• 字数: 3546字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0258-7025.2007.07.020

摘要

利用氟化氪(KrF)脉冲准分子激光烧蚀沉积(PLD)技术,通过对激光等离子体的粒子成分以及空间分布的诊断,实现了等离子体成分的选择性沉积.在不降低光谱范围和透过率指标的前提下,解决了类金刚石(DLC)薄膜和硫化锌(ZnS)基底的牢固结合问题;通过改进基底平台的扫描方式,在激光烧蚀沉积工艺中沉积了φ80 mm的大面积均匀类金刚石薄膜.制备的类金刚石/ZnS镀膜样品,光谱范围为0.53～12 μm,其中1.3～11 μm波段透过率在70%以上,膜层均匀性优于95%,可耐受环境湿度95%～100%,工作温度-45～85℃,附着力达到国军标要求.研究表明,利用类金刚石薄膜可以明显提高ZnS材料的耐冲击、耐高温、耐辐射和抗沙粒、盐、雾和尘埃的磨损侵蚀等能力.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	叶景峰		38	136	7.0	9.0
2	刘晶儒		87	620	13.0	19.0
3	王晟		25	120	6.0	9.0
4	王立君		21	139	7.0	10.0
5	白婷		18	80	6.0	8.0
6	叶锡生		43	316	9.0	15.0