基于序进应力加速实验评价失效率的新方法

• 作者: 吕长志 朱春节 李志国 李秀宇 郭春生 马卫东
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 寿命实验 失效率 寿命分布
• 年，卷（期）: 2007,（z1）
• 页码范围: 448-451
• 页数: 4页
• 分类号: TN32
• 字数: 2470字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2007.z1.114

摘要

基于序进应力加速寿命实验的研究,提出了一种快速确定半导体器件失效率及寿命分布的新方法.该方法将序进应力加速实验应用于失效率评价中,在计算失效激活能并外推寿命的基础上,快速确定微电子器件的寿命分布及相应的失效率.以样品3DG130为例,在160～310℃范围内进行了序进应力加速寿命实验,然后根据模型计算得到了器件的寿命、分布和失效率.结果与文献吻合很好,验证了方法的可行性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李志国	北京工业大学电子信息与控制工程学院	57	418	12.0	18.0
2	郭春生	北京工业大学电子信息与控制工程学院	44	302	10.0	15.0
3	吕长志	北京工业大学电子信息与控制工程学院	60	471	12.0	18.0
4	马卫东	北京工业大学电子信息与控制工程学院	15	132	6.0	11.0
5	朱春节	北京工业大学电子信息与控制工程学院	4	13	2.0	3.0
6	李秀宇	北京工业大学电子信息与控制工程学院	5	8	2.0	2.0