基板温度对PVD薄膜分维的影响

• 作者: 何飞 单英春 徐久军 李明伟 赫晓东
• 来源期刊: 稀有金属材料与工程
• 学科: 工学
• 关键词: 分维 基板温度 薄膜 PVD KMC
• 年，卷（期）: 2007,（z1）
• 页码范围: 946-949
• 页数: 4页
• 分类号: TB43
• 字数: 3203字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1002-185x.2007.z1.267

摘要

采用动态蒙特卡罗(KMC)方法研究物理气相沉积(PVD)制备薄膜过程中基板温度对薄膜微观结构的影响,并用分维理论研究薄膜表面的复杂程度.该KMC模型中既包括入射原子与表面之间的碰撞,又包括被吸附原子的扩散.模拟中用动量机制确定被吸附原子在表面上的初始构型,用分子稳态计算(MS)方法计算扩散模型中跃迁原子的激活能,用红黑树选择跃迁路径并更新系统跃迁机率.研究结果表明:基板温度大于500 K时,薄膜表面分维均小于2.04,表面光滑,而当基板温度小于500 K时薄膜分维随基板温度降低而增大,表面随基板温度升高变得越来越粗糙,直到基板温度降到250 K时,分维达到最大的稳定值2.32,表面情况非常复杂,具有细致的皱褶和缺陷.分维与基板温度之间的关系说明高基板温度有利于分维小、表面光滑薄膜的制备,而低基板温度使薄膜分维增大、表面结构更加复杂.该研究结果与基板温度对PVD薄膜表面粗糙度影响的研究结果趋势上一致,分维能更细致地评价薄膜表面的复杂程度.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	赫晓东	哈尔滨工业大学复合材料与结构研究所	187	2763	28.0	42.0
2	单英春	大连海事大学机电与材料工程学院	19	63	5.0	7.0
3	徐久军	大连海事大学机电与材料工程学院	110	674	12.0	20.0
4	李明伟	哈尔滨工业大学复合材料与结构研究所	62	516	11.0	21.0
8	何飞	哈尔滨工业大学复合材料与结构研究所	18	231	9.0	15.0