直流磁控溅射技术制备TiNxOy薄膜

• 作者: 朱开贵 杨海刚 王聪 陈尔东
• 来源期刊: 中国材料科技与设备
• 学科: 工学
• 关键词: TiNxOy 直流磁控溅射 吸收光谱 微观形貌
• 年，卷（期）: 2008,（1）
• 页码范围: 49-51
• 页数: 3页
• 分类号: TB43

摘要

利用直流磁控溅射技术在玻璃衬底上制备了TiNxOy薄膜样品。发现薄膜的颜色、晶体结构、光学性质等都强烈依赖于反应气体的流量。利用光电子能谱（XPS）、X射线衍射（XRD）、UV—Vis分光光度计、扫描电子显微镜（SEM）等测试手段对样品进行表征。结果表明：随着O2流量的逐步增加，薄膜逐渐呈现非晶态，晶粒逐渐变小。薄膜结构从TiN到TiNxOy再向TiO2过渡。透射光谱显示从TiN的不透明逐渐增加到透明度为80％，且吸收阈发生蓝移。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王聪	北京航空航天大学凝聚态物理与材料物理研究中心	45	510	12.0	21.0
2	杨海刚	北京航空航天大学凝聚态物理与材料物理研究中心	4	12	3.0	3.0
3	朱开贵	北京航空航天大学凝聚态物理与材料物理研究中心	9	10	2.0	3.0
4	陈尔东	北京航空航天大学凝聚态物理与材料物理研究中心	2	4	1.0	2.0