GaAs PHEMT器件的可靠性评估方法研究

• 作者: 许燕 邓文基 黄云
• 来源期刊: 环境技术
• 学科: 工学
• 关键词: PHEMT 失效机理 可靠性评估方法
• 年，卷（期）: 2008,（3）
• 所属期刊栏目: 环境适应性和可靠性
• 页码范围: 25-28
• 页数: 4页
• 分类号: TN1
• 字数: 3772字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-7204.2008.03.009

摘要

本文从GaAs PHEMT器件的失效机理出发,总结了PHEMT器件的几种可靠性评估方法:利用沟道区碰撞电离率对PHEMT器件的热电子退化的评估方法、高频C-V法对肖特基势垒接触退化的可靠性表征方法、用于欧姆接触退化表征的温度斜坡快速评价方法以及2DEG结构引起PHEMT器件失效的可靠性评估方法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	邓文基	华南理工大学物理科学与技术学院	32	145	7.0	10.0
2	黄云		9	41	3.0	6.0
3	许燕	华南理工大学物理科学与技术学院	2	12	2.0	2.0