溅射工艺对NiFe/Cu复合丝结构和性能的影响

• 作者: 王清江 蒋玲 赵强 赵振杰 阮建中
• 来源期刊: 华东师范大学学报（自然科学版）
• 学科: 物理学
• 关键词: 复合丝 晶态结构 巨磁阻抗效应 各向异性场
• 年，卷（期）: 2008,（5）
• 所属期刊栏目: 应用物理 电子学
• 页码范围: 104-109
• 页数: 6页
• 分类号: O482.4
• 字数: 2758字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-5641.2008.05.015

摘要

利用射频磁控溅射法分别采用连续溅射和间歇溅射工艺制备了Ni<,80>Fe<,20>/Cu复合结构丝.通过扫描电镜和x射线衍射等手段研究了溅射模式对复合丝微观结构的影响.结果表明:间歇溅射使镀层之间形成明显的界面,镀层结晶度增加,晶粒较大.利用巨磁阻抗效应和磁滞回线手段分析了样品的磁性能,发现实验中溅射的磁性层具有良好的软磁性能,复合丝呈现出较大的巨磁阻抗效应.当采用间歇溅射工艺时,由于复合丝的镀层中存在明显界面,内、外磁层的磁化行为不同,出现两个各向异性场.该样品经退火后,释放了一部分内部应力,软磁性能提高,阻抗效应增强,且内、外磁层磁性能趋于一致.