吉时利联合Stratosphere Solutions研发65nm以下先进工艺特征分析技术

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工艺特征

吉时利

技术

研发

仪器公司

ns公司

监测工作

测试元件

摘要：

美国吉时利(Keithley)仪器公司日前宣布将与Stratosphere Solutions公司(Sunnyvale,CA)合作采用阵列TEG(测试元件组)技术展开先进工艺研发和监测工作.

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篇名	吉时利联合Stratosphere Solutions研发65nm以下先进工艺特征分析技术
来源期刊	电子世界	学科	交通运输
关键词	工艺特征吉时利技术研发仪器公司 ns公司监测工作测试元件
年，卷（期）	2008,（3）	所属期刊栏目
研究方向		页码范围	4
页数	1页	分类号	TN305\|U463.82
字数		语种	中文
DOI