非平衡磁控溅射类金刚石薄膜的激光损伤过程研究

• 作者: 徐均琪 苏俊宏 谢松林
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 类金刚石薄膜 非平衡磁控溅射 激光损伤 损伤形态
• 年，卷（期）: 2008,（4）
• 所属期刊栏目: 技术交流
• 页码范围: 337-340
• 页数: 4页
• 分类号: O484.5
• 字数: 2309字
• 语种: 中文

摘要

类金刚石薄膜是一种很好的红外窗口表面增透保护材料,随着对其抗激光损伤特性研究的不断深入,越来越多的研究者都将研究的重点放在了如何提高其激光损伤阈值上.然而,不同沉积方法制备的薄膜由于其微观结构存在的差异,必然会导致破坏的过程有所不同.本文采用非平衡磁控溅射技术沉积的薄膜,对其损伤过程进行了深入的研究.结果表明:在不同的激光能量下,DLC薄膜出现不同的损伤形态,而这些与薄膜的缺陷、内应力以及薄膜与衬底的结合力密切相关.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	徐均琪	西安工业大学光电工程学院	87	611	13.0	20.0
2	苏俊宏	西安工业大学光电工程学院	111	496	12.0	16.0
3	谢松林	西安工业大学光电工程学院	4	60	4.0	4.0