基于扭转RF MEMS开关的设计

• 作者: 宋明歆 殷景华 许铁
• 来源期刊: 哈尔滨理工大学学报
• 学科: 工学
• 关键词: RF MEMS 开关 制作工艺 驱动电压
• 年，卷（期）: 2008,（1）
• 所属期刊栏目: 数理科学
• 页码范围: 86-89
• 页数: 4页
• 分类号: TM546
• 字数: 2487字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1007-2683.2008.01.025

摘要

为了降低RF MEMS开关的驱动电压,根据扭转力学和应变力学理论,提出了基于扭转RF MEMS的开关模型,建立了相关数学公式,给出了加工工艺流程,并仿真得到了不同条件下RF MEMS开关的电机械性能.工艺仿真结果表明:完全可以利用已有生产流程制造基于扭转的RFMEMS开关.性能仿真结果表明:在同等条件下,采用扭转机制,RF MEMS开关的制动电压将降低30%.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	殷景华	哈尔滨理工大学应用科学学院	74	301	9.0	12.0
2	宋明歆	哈尔滨理工大学应用科学学院	19	51	4.0	6.0
3	许铁		1	1	1.0	1.0