ZnSe单晶CVT法生长与系统优化

• 作者: 介万奇 刘长友
• 来源期刊: 无机材料学报
• 学科: 化学
• 关键词: 硒化锌 气相输运反应 热力学分析
• 年，卷（期）: 2008,（4）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 855-859
• 页数: 5页
• 分类号: O613|O614|O642|O782
• 字数: 3904字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-324X.2008.04.044

摘要

采用热力学数值计算的方法,分析了ZnSe-I2、H2、HCl和NH4Cl化学气相输运系统的特性.对比计算结果表明, ZnSe-NH4Cl系统具有压力高、输运反应焓变适中的特点. NH3分解产生的H2起着调节输运组分H2se分压的作用.以ZnSe-I2输运系统中实际输运组分分压值为参考,确定了ZnSe-NH4Cl系统中单晶生长工艺参数范围:温度在1000°C左右,NH4Cl的浓度范围在0.5～1.0mg/mL之内.采用该工艺生长了尺寸约为8mm×6mm×4mm 的ZnSe单晶,生长态(111)面摇摆曲线半峰宽为60.48",蚀坑密度(EPD)为(4.5～5.0)×104/cm2.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	介万奇	西北工业大学材料学院	272	1636	19.0	27.0
2	刘长友	西北工业大学材料学院	16	78	4.0	8.0