射频磁控溅射WS2 -Ag复合薄膜的组织结构及环境摩擦磨损特性

• 作者: 彭仕敏 杨友志 涂江平 郑晓华
• 来源期刊: 润滑与密封
• 学科: 工学
• 关键词: 射频 磁控溅射 摩擦与磨损 WS2
• 年，卷（期）: 2008,（1）
• 所属期刊栏目: 试验研究
• 页码范围: 11-14
• 页数: 4页
• 分类号: TG115.5
• 字数: 2562字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.0254-0150.2008.01.003

摘要

采用射频磁控溅射方法在高速钢基体上制备WS2-Ag复合薄膜.用能谱(EDS)、X射线衍射(XRD)、扫描电镜(SEM)等对薄膜的成分、组织结构和形貌进行了表征;用划痕仪和球-盘式摩擦仪分别测试薄膜的结合力和大气及真空环境下的摩擦学性能.结果表明,Ag含量为3.23%～5.78%的WS2-Ag复合薄膜具有非晶态结构.Ag的掺入可使WS2薄膜平滑、致密,提高薄膜与基体的结合力,降低薄膜的摩擦因数和摩擦学特性环境敏感性.复合薄膜的耐磨性比纯WS2更加优异,Ag含量5.05%的复合薄膜具有最佳摩擦学性能,其在大气和真空中的磨损率分别为1.06×10-6和0.72×10-6 mm3/(N·m).

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	涂江平	浙江大学材料科学与工程系	82	1603	23.0	38.0
2	郑晓华	浙江大学材料科学与工程系	35	161	7.0	10.0
4	杨友志	浙江大学材料科学与工程系	9	229	5.0	9.0
7	彭仕敏	浙江大学材料科学与工程系	2	5	1.0	2.0