自支撑金属薄膜厚度测量技术

• 作者: 高党忠
• 来源期刊: 中国工程物理研究院科技年报
• 学科: 物理学
• 关键词: 薄膜厚度 测量技术 金属薄膜 自支撑 惯性约束聚变 物理实验 定位误差 冲击波速度
• 年，卷（期）: 2009,（1）
• 页码范围: 9-10
• 页数: 2页
• 分类号: O484.5

摘要

惯性约束聚变（ICF）物理实验研究中，10-100μm厚度的Al，Cu等白支撑金属薄膜是常用的靶材料，由于薄膜厚度及其分布与冲击波速度、压强等物理实验结果直接相关，因此需要对其厚度进行精确的测量。长期以来，对薄膜样品厚度的测量主要采用传统的单面定位测量法，但由于薄膜一基底之间的定位误差，薄膜厚度的精密测量存在难以克服的技术难题。