AlSb多晶薄膜材料的性能研究

• 作者: 冯良桓 宋慧瑾 武莉莉 贺剑雄 郑家贵 雷智
• 来源期刊: 无机材料学报
• 学科: 工学
• 关键词: AlSb 退火 多晶薄膜 共蒸发
• 年，卷（期）: 2009,（3）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 517-520
• 页数: 4页
• 分类号: TM914
• 字数: 2590字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3724/SP.J.1077.2009.00517

摘要

采用共蒸法制备了新型AlSb多晶薄膜. 通过XRF、XRD、Hall测试及电导率温度关系等研究了AlSb多晶薄膜的组分、结构及性能. 分析表明,刚沉积的AlSb薄膜为非晶相,在540℃以上退火转变为AlSb相,转变的程度取决于退火的温度及Al、Sb的原子配比,其中NAl ∶ NSb为47.2 ∶ 52.8,580℃退火后的薄膜多晶转变最为明显,结晶度较高;测试结果表明,退火后的AlSb薄膜为p型间接带隙半导体,载流子浓度为1019cm-1,吸收系数为104,而且在升降温阶段电导率发生不可逆变化. 这种薄膜用于TCO/CdS/AlSb结构的太阳电池器件中已经得到200mV左右的开路电压.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	冯良桓	四川大学材料科学与工程学院	78	424	10.0	17.0
2	郑家贵	四川大学材料科学与工程学院	49	317	9.0	15.0
3	雷智	四川大学材料科学与工程学院	8	39	4.0	6.0
4	武莉莉	四川大学材料科学与工程学院	56	217	8.0	13.0
5	贺剑雄	四川大学材料科学与工程学院	5	8	1.0	2.0
6	宋慧瑾	四川大学材料科学与工程学院	3	11	2.0	3.0