直流反应磁控溅射CrNX功能装饰涂层的研究

• 作者: 孙丽丽 张栋 汪爱英 郑贺
• 来源期刊: 中国表面工程
• 学科: 工学
• 关键词: 反应磁控溅射 CrNX 耐磨性
• 年，卷（期）: 2010,（3）
• 所属期刊栏目: 表面工程研究
• 页码范围: 38-41
• 分类号: TG174.44|TB43
• 字数: 1803字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1007-9289.2010.03.008

摘要

采用反应磁控溅射制备不同氮气流量下的CrNX膜,观察薄膜颜色的变化,采用球盘式摩擦磨损仪、台阶仪、金相显微镜测试薄膜的耐磨性能,并采用X射线衍射技术、场发射扫描电镜观测薄膜的相成份以及微观形貌.研究结果表明,随着氮气含量的增加,薄膜颜色由银灰色逐渐过渡为深灰色,薄膜相结构由单相Cr2N转变为Cr2N和CrN混合相继而转变为单相CrN,当氮气流量为20 cm3·min-1以及30 cm3·min-1时薄膜表现出良好的耐磨性.采用高氮气流量的工艺镀中间层,低氮气流量的工艺镀表面层,复合薄膜的耐磨性大幅度提高,同时能够获得美观的银灰色外观.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	孙丽丽	中国科学院宁波材料技术与工程研究所	15	61	5.0	7.0
2	汪爱英	中国科学院宁波材料技术与工程研究所	33	206	9.0	13.0
3	张栋	中国科学院宁波材料技术与工程研究所	42	316	9.0	16.0
4	郑贺	中国科学院宁波材料技术与工程研究所	3	2	1.0	1.0