放电电压对直流热阴极制备金刚石厚膜的影响

• 作者: 刘才龙 姜志刚 杨传径 毛爱霞 陈庆东
• 来源期刊: 河南大学学报（自然科学版）
• 学科: 物理学
• 关键词: 直流热阴极辉光放电 金刚石厚膜 放电电压
• 年，卷（期）: 2010,（3）
• 所属期刊栏目: 现代物理与材料科学
• 页码范围: 248-251
• 分类号: O484
• 字数: 1867字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-4978.2010.03.007

摘要

利用直流热阴极辉光放电方法制备出了高品质金刚石厚膜,生长速率达到20μm/h,生长厚度达到3mm.为了解其工作特性、优化沉积工艺,本文研究了放电电压对金刚石沉积速率和品质的影响.通过对扫描电镜、拉曼谱和XRD图谱分析得出,随着放电电压的增加,沉积速率呈下降趋势,电压在850～950V范围金刚石中石墨和非晶碳明显减少,晶粒均匀,表面晶向以(110)为主,金刚石薄膜的质量显著提高.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	毛爱霞	河南科技大学理学院	10	15	2.0	3.0
2	陈庆东	河南科技大学理学院	42	156	7.0	11.0
3	姜志刚	吉林大学超硬材料国家重点实验室	21	157	6.0	12.0
4	杨传径	河南科技大学理学院	9	7	2.0	2.0
5	刘才龙	吉林大学超硬材料国家重点实验室	7	7	2.0	2.0