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脉冲偏压辅助热丝法沉积金刚石膜的实验研究
脉冲偏压辅助热丝法沉积金刚石膜的实验研究
作者:
季锡林
梅军
胡东平
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取
金刚石膜
热丝CVD
脉冲偏压
摘要:
本文针对金刚石涂层应用于工具、模具的需要,研究脉冲偏压在热丝法沉积金刚石工艺中促进金刚石形核、生长的作用.进行了不同脉冲电压、频率、占空比条件下制备金刚石涂层的试验,采用金相显微镜观察涂层的颗粒尺寸及均匀性、致密性,确定了优化的工艺参数.采用优化的工艺参数在硬质合金基体表面沉积金刚石涂层,观察金刚石涂层的结构并测试与基体的结合力.结果表明,生长的金刚石涂层颗粒细小、均匀,与基体的结合力良好.
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形核
金刚石膜
边缘效应
内容分析
文献信息
引文网络
相关学者/机构
相关基金
期刊文献
内容分析
关键词云
关键词热度
相关文献总数
(/次)
(/年)
文献信息
篇名
脉冲偏压辅助热丝法沉积金刚石膜的实验研究
来源期刊
金刚石与磨料磨具工程
学科
工学
关键词
金刚石膜
热丝CVD
脉冲偏压
年,卷(期)
2010,(1)
所属期刊栏目
研究方向
页码范围
56-59,66
页数
5页
分类号
TQ164
字数
3930字
语种
中文
DOI
10.3969/j.issn.1006-852X.2010.01.014
五维指标
作者信息
序号
姓名
单位
发文数
被引次数
H指数
G指数
1
胡东平
中国工程物理研究院结构力学研究所
15
79
6.0
8.0
2
梅军
中国工程物理研究院结构力学研究所
30
240
9.0
14.0
3
季锡林
中国工程物理研究院结构力学研究所
6
50
5.0
6.0
传播情况
被引次数趋势
(/次)
(/年)
引文网络
引文网络
二级参考文献
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共引文献
(17)
参考文献
(3)
节点文献
引证文献
(0)
同被引文献
(0)
二级引证文献
(0)
1998(1)
参考文献(1)
二级参考文献(0)
1999(1)
参考文献(0)
二级参考文献(1)
2000(4)
参考文献(1)
二级参考文献(3)
2001(5)
参考文献(0)
二级参考文献(5)
2002(4)
参考文献(0)
二级参考文献(4)
2003(1)
参考文献(1)
二级参考文献(0)
2010(0)
参考文献(0)
二级参考文献(0)
引证文献(0)
二级引证文献(0)
研究主题发展历程
节点文献
金刚石膜
热丝CVD
脉冲偏压
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
金刚石与磨料磨具工程
主办单位:
郑州磨料磨具磨削研究所有限公司
出版周期:
双月刊
ISSN:
1006-852X
CN:
41-1243/TG
开本:
16开
出版地:
郑州市高新区梧桐街121号
邮发代号:
36-34
创刊时间:
1970
语种:
chi
出版文献量(篇)
2468
总下载数(次)
7
总被引数(次)
15377
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