脉冲偏压辅助热丝法沉积金刚石膜的实验研究

• 作者: 季锡林 梅军 胡东平
• 来源期刊: 金刚石与磨料磨具工程
• 学科: 工学
• 关键词: 金刚石膜 热丝CVD 脉冲偏压
• 年，卷（期）: 2010,（1）
• 页码范围: 56-59,66
• 页数: 5页
• 分类号: TQ164
• 字数: 3930字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-852X.2010.01.014

摘要

本文针对金刚石涂层应用于工具、模具的需要,研究脉冲偏压在热丝法沉积金刚石工艺中促进金刚石形核、生长的作用.进行了不同脉冲电压、频率、占空比条件下制备金刚石涂层的试验,采用金相显微镜观察涂层的颗粒尺寸及均匀性、致密性,确定了优化的工艺参数.采用优化的工艺参数在硬质合金基体表面沉积金刚石涂层,观察金刚石涂层的结构并测试与基体的结合力.结果表明,生长的金刚石涂层颗粒细小、均匀,与基体的结合力良好.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	胡东平	中国工程物理研究院结构力学研究所	15	79	6.0	8.0
2	梅军	中国工程物理研究院结构力学研究所	30	240	9.0	14.0
3	季锡林	中国工程物理研究院结构力学研究所	6	50	5.0	6.0