GaN薄膜制备技术的研究进展

• 作者: 张华 梁建 许并社 赵丹 赵君芙 马淑芳
• 来源期刊: 材料导报：纳米与新材料专辑
• 学科: 工学
• 关键词: GAN薄膜 制备技术 研究进展
• 年，卷（期）: 2010,（1）
• 页码范围: 299-303
• 页数: 5页
• 分类号: TQ028

摘要

综述了近年来国内外GaN薄膜制备技术的研究进展，并重点介绍了其发展历程、所使用的设备和技术、各自的优缺点及应用前景。通过比较这些技术的优缺点展望了制备GaN薄膜技术的发展前景。