单晶硅生产工艺中的关键技术

• 作者: 王金全
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 集成电路 单晶硅 芯片 晶圆
• 年，卷（期）: 2010,（5）
• 页码范围: 30-33
• 分类号: TN304.05
• 字数: 2261字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4507.2010.05.009

摘要

电子技术已经成为一个国家的技术发展状况的重要指针.在半导体芯片中,单晶硅材料占据了整个芯片体积的约99%.单晶硅的生产技术和产量体现了一个国家在半导体行业中的发展水平.通过对单晶硅原材料制造工艺的细致分析,把制程工艺中的关键控制参数分类为"静态"控制参数和"动态"控制参数,提出了运用科学实验,建立数学模型和编制控制程序的生产控制方法,以取得品质、成本的双重控制.