反应磁控溅射碳化铪薄膜的微结构与力学性能

• 作者: 周颐辛 张晶晶 李冠群 李戈扬 祝新发 许辉
• 来源期刊: 表面技术
• 学科: 工学
• 关键词: 碳化铪 硬质薄膜 微结构 力学性能 磁控溅射
• 年，卷（期）: 2010,（1）
• 所属期刊栏目: 试验研究
• 页码范围: 5-8
• 页数: 4页
• 分类号: TG174.444
• 字数: 3205字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-3660.2010.01.002

摘要

为满足不同加工方式和加工条件下刀具对涂层的特殊要求,获得硬度高和耐摩擦性能优异的刀具涂层,采用反应磁控溅射方法制备了一系列不同碳含量的碳化铪薄膜.利用EDX,XRD,SEM,AFM和微力学探针表征了薄膜的微结构和力学性能,研究了C_2H_2分压(Ar和C_2H_2混合气体)对薄膜成分、相组成、微结构以及硬度和弹性模量的影响.结果表明,反应磁控溅射可以方便地制备碳化铪薄膜,但是,只有在C_2H_2分压为混合气体总压约3.0%附近很窄的范围内才可获得高硬度和高弹性模量的单相碳化铪薄膜,其最高硬度和弹性模量分别为27.9 GPa和255 GPa;低C_2H_2分压下所得薄膜由金属Hf和HfC两相组成,硬度较低;而过高的C_2H_2分压将导致薄膜形成非晶态,其硬度和弹性模量亦随之降低.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李戈扬	上海交通大学金属基复合材料国家重点实验室	109	1036	18.0	25.0
2	祝新发	上海工具厂有限公司机械工业工具涂层技术重点实验室	37	157	7.0	11.0
3	许辉	上海工具厂有限公司机械工业工具涂层技术重点实验室	24	83	6.0	7.0
4	李冠群	上海交通大学金属基复合材料国家重点实验室	11	420	6.0	11.0
5	张晶晶	上海工具厂有限公司机械工业工具涂层技术重点实验室	5	50	3.0	5.0
6	周颐辛	上海工具厂有限公司机械工业工具涂层技术重点实验室	4	47	3.0	4.0