氮气氛中高温退火对ZnO薄膜发光性质的影响

• 作者: 傅竹西 孙利杰 徐小秋 邬小鹏 钟泽 陈小庆
• 来源期刊: 发光学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 氧化锌 薄膜 退火 光致发光 MOCVD
• 年，卷（期）: 2010,（3）
• 页码范围: 359-363
• 分类号: O482.31
• 字数: 2544字
• 语种: 中文

摘要

以二乙基锌和水汽分别作为锌源和氧源,用LP-MOCVD方法在p型Si(100)衬底上生长了单一取向的ZnO薄膜.对得到的样品在氮气气氛中进行高温热处理,退火温度分别为900,1 000,1 100℃.利用室温PL谱、XRD、AFM、XPS等方法对样品的性质进行了研究.研究表明:(1)随着退火温度的升高,样品的结晶性质也逐渐提高,从表面形貌观察到晶粒尺寸逐渐增大;(2)当退火温度从900℃升高至1 000℃时,样品的光致发光谱中可见光波段的发光强度有所减弱,而紫外波段的发光强度明显增强;当退火温度升高至1 100℃时,可见光波段的发光几乎完全被抑制,而紫外波段的发光强度急剧增强.分析认为,高温退火改善晶体结晶质量的同时调制了样品的Zn/O比,氮气气氛下的热处理使得样品内的氧原子逸出,来自受主缺陷Ozn的可见发射随温度升高逐渐减弱,而当退火温度达到1 000℃以上时样品成为富锌状态,此时与施主缺陷Zni有关的紫外发射急剧增强.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	傅竹西	中国科学技术大学物理系	53	808	17.0	27.0
2	孙利杰	中国科学技术大学物理系	8	42	4.0	6.0
3	陈小庆	中国科学技术大学物理系	3	10	1.0	3.0
4	邬小鹏	中国科学技术大学物理系	3	19	2.0	3.0
5	徐小秋	中国科学技术大学物理系	3	20	2.0	3.0
6	钟泽	中国科学技术大学物理系	3	12	2.0	3.0