MEMS器件的优化设计

• 作者: 王虎奇 陈树勋
• 来源期刊: 机械设计与研究
• 学科: 工学
• 关键词: 微加速度计 优化设计 导重法 自然模拟法
• 年，卷（期）: 2010,（6）
• 页码范围: 54-57,67
• 分类号: TH122
• 字数: 3823字
• 语种: 中文

摘要

微机电系统(MEMS)器件在军用和民用领域应用都比较广泛,其设计研究涉及到机械、电子、磁场等领域,属于多学科问题,对其进行优化设计比较困难.文中以微加速度计ADXL150的优化设计为例以SUGAR软件作为分析器提出采用导重法对微机电系统器件进行优化设计.该方法与国外采用的遗传算法和退火算法等自然模拟优化算法相比,计算效率与计算精度大大提高,采用遗传算法和退火算法需要上万次分析,计算时间达4～5 h,而该方法仅需六七次优化迭代几分钟时间即可找到最优解.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈树勋	广西大学机械工程学院	61	454	12.0	17.0
2	王虎奇	广西大学机械工程学院	53	221	9.0	11.0