In2O3透明薄膜晶体管的制备及其电学性能的研究

• 作者: 原子健 吴惠祯 张莹莹 徐天宁 朱夏明 王雄
• 来源期刊: 物理学报
• 学科: 物理学
• 关键词: In2O3晶体薄膜 磁控溅射 薄膜晶体管 场效应迁移率
• 年，卷（期）: 2010,（7）
• 页码范围: 5018-5022
• 分类号: O4
• 语种: 中文

摘要

采用磁控溅射方法在玻璃衬底上生长了In2O3晶体薄膜.该薄膜具有(111)晶面择优取向,晶粒尺寸达到33nm.利用光刻工艺制作了以InO3晶体薄膜为沟道层的底栅式薄膜晶体管.In2O3薄膜晶体管具有良好的栅压调制特性,场效应迁移率达到6.3cm2/(V·s),开关电流比为3×10~3,阈值电压为-0.9V.