光刻机精密运动平台的几何及运动误差建模

• 作者: 赵强 阎绍泽
• 来源期刊: 清华大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 光刻机 误差模型 多体运动学 低序体阵列 齐次坐标交换
• 年，卷（期）: 2010,（2）
• 所属期刊栏目: 精密仪器与机械学
• 页码范围: 241-245
• 页数: 5页
• 分类号: TH161.2
• 语种: 中文

摘要

为了提高光刻机硅片台和掩模台的运动精度,楚立光刻机精密运动平台的几何及运动误差模型.引入低序体阵列描述光刻机的拓扑结构,采用齐次坐标变换表达多体系统中典型体的几何和运动误差,应用多体系统运动学建立了系统的结构和运动关系以及相应的定位误差方程.进一步分析了光刻机的运动误差链,推导了光刻机运动通用误差模型.以某光刘机精密工作台为例进行误差楚模与分析,该方法和结果可为光刻机精度设计提供参考.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	阎绍泽		77	1252	22.0	32.0
2	赵强		11	208	5.0	11.0