退火对用PLD法制备ZnO薄膜的发光影响

• 作者: 张仲 王勇杰 魏显起
• 来源期刊: 红外与毫米波学报
• 学科: 物理学
• 关键词: PLD ZnO薄膜 应力 晶体结构 光致发光谱
• 年，卷（期）: 2011,（3）
• 所属期刊栏目: 全国半导体物理学术会议邀请报告选编
• 页码范围: 224-228
• 分类号: O469
• 字数: 4142字
• 语种: 中文

摘要

用脉冲激光沉积(PLD)方法在Si(111)和蓝宝石衬底上制备的氧化锌薄膜,在不同的退火温度和不同的退火氛围中进行了退火处理.退火温度及退火氛围对ZnO薄膜的结构和发光特性的影响用X射线衍射(XRD)谱和光致发光谱进行了表征.实验结果表明,随着退火温度的提高,ZnO薄膜的压应力减小,并向张应力转化.在不同的退火温度退火的薄膜的光致发光谱表明,随着退火温度的提高,薄膜的紫外发射逐渐增强,缺陷发射逐渐减小.在不同退火条件下的退火实验表明,在蓝宝石衬底上、氧气氛围中退火的薄膜,在700℃时呈现无应力,紫外发射强度对可见发射强度的比例最大.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	魏显起	济南大学物理科学学院	6	11	2.0	3.0
2	张仲	济南大学物理科学学院	30	121	6.0	9.0
3	王勇杰	济南大学物理科学学院	2	7	1.0	2.0