面向IC封装的视觉定位系统设计

• 作者: 刘晓斌 单福源 柴斌 涂佃柳
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 集成电路 视觉定位 特征点集 SUSAN滤波 划切街区
• 年，卷（期）: 2011,（3）
• 所属期刊栏目: IC制造工艺与设备
• 页码范围: 46-49
• 分类号: TN407
• 字数: 2926字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4507.2011.03.013

摘要

以集成电路后道封装工序中的关键设备全自动砂轮划片机为例,详细阐述了面向IC封装的视觉识别定位系统的硬件结构和软件设计,在全自动砂轮划片机上开发了一套基于OpenCV视觉函数库的图像处理算法,控制划切工作台运动实现对IC工件划切街区的精确定位.在模板匹配方式上,该算法采用比较流行的边缘几何特征匹配方式,并在砂轮划片机的现场测试中取得了较为理想的效果.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘晓斌	中国电子科技集团公司第四十五研究所	4	10	2.0	3.0
2	涂佃柳	中国电子科技集团公司第四十五研究所	5	5	1.0	2.0
3	柴斌	中国电子科技集团公司第四十五研究所	2	5	1.0	2.0
4	单福源	中国电子科技集团公司第四十五研究所	2	5	1.0	2.0