钽阳极氧化膜的半导体性研究

• 作者: 庄朋强 张兴栋 朱向东 肖占文 范红松
• 来源期刊: 电子元件与材料
• 学科: 工学
• 关键词: 阳极氧化钽膜 半导体特性 电容测量 Mott-Schottky分析 阻抗
• 年，卷（期）: 2011,（8）
• 所属期刊栏目: 研究与试制
• 页码范围: 35-39
• 分类号: TM201
• 字数: 5151字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-2028.2011.08.010

摘要

用电容测量技术和电化学阻抗技术研究了高纯钽丝在稀磷酸(质量分数为0.01%,0.10%和1.00%)、氨水(pH=11)和饱和CO2水溶液(pH=4)中阳极氧化形成的氧化钽膜在酸性缓冲液(pH=2)中的半导体性和阻抗特性.实验结果表明,来自非磷酸系的阳极氧化钽膜呈现出双极性(p-n)半导体结构特征,而来自磷酸系的则表现为三极性( n-p-n)；且非磷酸系阳极氧化钽膜的施主浓度(0.6×1019cm-3)明显低于磷酸系的(0.7×1019～2.2× 1019cm-3).但磷酸系阳极氧化钽膜的耐酸腐蚀性弱于非磷酸系的.这些可能是磷酸根离子嵌入氧化钽膜外层的结果.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张兴栋	四川大学生物材料工程技术研究中心	68	700	16.0	22.0
2	范红松	四川大学生物材料工程技术研究中心	29	226	7.0	14.0
3	朱向东	四川大学生物材料工程技术研究中心	13	56	4.0	7.0
4	庄朋强	四川大学生物材料工程技术研究中心	1	31	1.0	1.0
5	肖占文	四川大学生物材料工程技术研究中心	5	62	3.0	5.0