蓝宝石晶片机械化学研磨抛光新方法研究

• 作者: 周兆忠 李振 王吉翠 袁巨龙 邓乾发
• 来源期刊: 表面技术
• 学科: 工学
• 关键词: 蓝宝石晶片 固相反应 SiO2 催化剂 MgF2
• 年，卷（期）: 2011,（5）
• 所属期刊栏目: 应用技术
• 页码范围: 101-103
• 分类号: TG175
• 字数: 2847字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-3660.2011.05.028

摘要

以SiO2为磨料,同时将MgF2微粉作为固相反应催化剂加入到SiO2磨料中,利用蓝宝石和SiO2之间的固相反应,通过去除生成的软质反应层的方法,对蓝宝石晶片进行机械化学研磨抛光,在获得良好的表面加工质量的同时,提高蓝宝石晶片加工效率.