基于溶剂热反应快速沉积ZrO_2-基激光光学薄膜

• 作者: 施艳霞 梁丽萍 苏彩霞
• 来源期刊: 太原科技大学学报
• 学科: 工学
• 关键词: ZrO2 溶剂热 光学薄膜 折射率 激光损伤
• 年，卷（期）: 2011,（5）
• 所属期刊栏目: 机械工程与材料科学
• 页码范围: 374-379
• 分类号: TB43
• 字数: 3603字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1673-2057.2011.05.007

摘要

基于丙醇锆-乙酸-乙醇混合体系的溶剂热反应（423 K,10 h）合成了稳定的ZrO2-基溶胶,采用旋转镀膜技术在K9玻璃基片上制备了ZrO2-基光学薄膜。借助动态光散射、傅里叶变换红外光谱、原子力显微镜、紫外/可见/近红外透射光谱、FilmTMTek 3000型薄膜分析仪以及强激光辐照实验对溶胶与薄膜的微观结构及光学性能进行表征。研究发现,通过与溶剂乙醇的酯化反应和与丙醇锆的配合反应,乙酸具有温和地提供反应水和降低丙醇锆水解活性的双重作用。在各工艺参数适当配置的情况下,采用该方法可以快速合成颗粒流体力学直径为10 nm~15 nm的溶胶,由此沉积的薄膜具有平整的表面、较高的折射率1.633（测试波长为632 nm）和高的激光损伤阈值34.7 J/cm2（激光波长为1 064 nm,脉冲宽度为3 ns,＂R/1＂测试模式）。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	梁丽萍	太原科技大学材料科学与工程学院	14	62	5.0	7.0
2	苏彩霞	太原科技大学材料科学与工程学院	2	0	0.0	0.0
3	施艳霞	太原科技大学材料科学与工程学院	1	0	0.0	0.0