浅谈硫酸双氧水微蚀速率

• 作者: 刘德勋 吴延庭 李俊
• 来源期刊: 印制电路信息
• 学科: 工学
• 关键词: 硫酸双氧水 稳定剂 氯离子 参数控制
• 年，卷（期）: 2011,（8）
• 所属期刊栏目: 图形转移
• 页码范围: 28-30,51
• 分类号: TN41
• 字数: 2279字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1009-0096.2011.08.007

摘要

主要探讨硫酸双氧水微蚀工艺的微蚀速率,详细讲述了该工艺条件下的工艺参数控制。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李俊		2	9	1.0	2.0
2	吴延庭		1	8	1.0	1.0
3	刘德勋		1	8	1.0	1.0