投影光刻机中PDP-11主控制计算机系统的替换

• 作者: 曾美芹
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: PDP-11计算机 GPIB卡 投影光刻机 VB
• 年，卷（期）: 2011,（8）
• 所属期刊栏目: 专用设备设计研究
• 页码范围: 38-40
• 分类号: TP303
• 字数: 1620字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4507.2011.08.010

摘要

介绍了针对早期的投影光刻机存在PDP-11计算机速度慢,控制系统难操作的问题,利用普通PC机通过GPIB卡替换了PDP-11计算机,使用VB语言编写的程序替换了主控制系统程序。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	曾美芹		1	0	0.0	0.0