浅析磁控溅射部分氧化镍铬膜工艺

• 作者: 张珮珮 郭明
• 来源期刊: 玻璃
• 学科: 工学
• 关键词: 磁控溅射 镍铬膜 部分氧化 气体流量 阴极电压
• 年，卷（期）: 2011,（9）
• 所属期刊栏目: 玻璃深加工
• 页码范围: 29-36
• 分类号: TQ171
• 字数: 5528字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-1987.2011.09.010

摘要

通过对磁控溅射部分氧化镍铬膜工艺的研究,指出在不同工艺气体流量下,在不同溅射功率下,如何稳定控制部分氧化镍铬膜的生产。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郭明		8	1	1.0	1.0
2	张珮珮		1	0	0.0	0.0