微机电系统MEMS仿真与建模

• 作者: 杨雪君
• 来源期刊: 西安航空技术高等专科学校学报
• 学科: 工学
• 关键词: 微机电系统 微机械动力学 仿真与建模
• 年，卷（期）: 2011,（5）
• 所属期刊栏目: 电子电气工程与应用
• 页码范围: 52-54
• 分类号: TP391.92
• 字数: 3045字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1008-9233.2011.05.019

摘要

微机电系统是源于微电子加工技术,融合了微机械制造、传感、致动及微控制于一体的系统。微机电系统融合了力、电、流体、光、磁、热等多个物理域,随着建模与仿真技术的迅速发展,研究有关微机电系统建模与仿真的基本理论和方法。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨雪君	黄冈职业技术学院机电学院	38	22	2.0	2.0