在蓝宝石、MgO衬底上ZnO波导膜的制备

• 作者: 刘秀红 卢菲 宋红莲 李爽 王凤翔 陈志华 齐俊鹤
• 来源期刊: 山东建筑大学学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 磁控溅射 蓝宝石 MgO ZnO薄膜 波导膜
• 年，卷（期）: 2011,（5）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 411-415
• 分类号: O484.4
• 字数: 3845字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1673-7644.2011.05.001

摘要

以ZnO烧结陶瓷为靶材,应用射频磁控溅射技术在(001)蓝宝石、(100) MgO衬底上制备ZnO波导薄膜.利用棱镜耦合、X射线衍射、RBS背散射分析等技术研究了所沉积薄膜的光波导及内部结构信息.结果表明:在两种衬底上所沉积的ZnO薄膜可以形成优良的平面光波导结构；薄膜结晶状况为存在少量其他晶向的c轴择优取向；薄膜含有的Zn及O组分原子数比例为近化学计量比；薄膜的沉积速率受衬底材料表面能作用轻微影响；薄膜的有效折射率较ZnO体材料小H受衬底材料影响.生长在蓝宝石衬底上ZnO薄膜的平均晶粒尺寸较在MgO衬底上的小,且其随膜厚的增加无明显变化,但在MgO衬底上晶粒尺寸则随膜厚的增加有增大趋势.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	齐俊鹤	山东建筑大学理学院	2	6	2.0	2.0
2	王凤翔	山东建筑大学理学院	16	48	4.0	5.0
3	卢菲	山东大学信息科学与工程学院	7	22	3.0	4.0
4	陈志华	山东建筑大学理学院	6	13	2.0	3.0
5	宋红莲	山东建筑大学理学院	6	17	3.0	4.0
6	刘秀红	山东大学物理学院	1	4	1.0	1.0
7	李爽	山东建筑大学理学院	3	29	3.0	3.0