一种微机械有限元仿真的多重网格预处理方法

• 作者: 万蔡辛 李丹东 梁新建
• 来源期刊: 中国惯性技术学报
• 学科: 交通运输
• 关键词: 多重网格方法 有限元 预处理 微机械元件
• 年，卷（期）: 2011,（1）
• 所属期刊栏目: 惯性仪表研究与设计
• 页码范围: 84-90
• 分类号: U666.1
• 字数: 6626字
• 语种: 中文

摘要

在微机械结构设计中常用有限元方法进行仿真,然而,通用的三维有限元仿真算法在进行有限元分析时耗时较长,影响了仿真效率.针对常规MEMS工艺仅有二维成形能力的特征,提出了将二维多重网格方法融入条件共轭梯度法的预处理的方法.并以一种"三明治"式微加速度计的ANSYS模态分析为具体算例,提出了用多重网格思想对网点分布进行插值以求在不太提高条件数的情况下提高对这类低频非局部振型的模态分析问题的求解精度的二维预处理算法.所提出的多重网络的网络划分预处理算法将预处理前后的同精度分析计算时间由206 min减少到38 min,但相对精度从0.018%降-到了0.038%.这种算法可用于二维成形结构的静力分析和模态分析并提高设计效率.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李丹东		17	114	5.0	10.0
2	万蔡辛		5	17	2.0	4.0
3	梁新建		5	18	2.0	4.0