钛酸锶钡/铋锌铌多层复合薄膜的制备及性能

• 作者: 任巍 阎鑫
• 来源期刊: 电子元件与材料
• 学科: 工学
• 关键词: 微波介质薄膜 钛酸锶钡 铋锌铌 溶胶-凝胶法
• 年，卷（期）: 2011,（4）
• 所属期刊栏目: 研究与试制
• 页码范围: 21-24
• 分类号: TM22
• 字数: 3125字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-2028.2011.04.006

摘要

采用溶胶一凝胶法在Pt/Ti/SiO2/Si衬底上制备了钛酸锶钡/铋锌铌多层复合薄膜样品.研究了不同退火温度下多层复合薄膜的结构、微观形貌及介电性能.结果表明:在退火温度高于700℃时,所得复合薄膜中会出现立方焦绿石结构的铋锌铌和钙钛矿结构的钛酸锶钡.750℃退火处理得到的多层复合薄膜,表面致密,无裂纹,其相对介电常数为146,介电损耗为0.004;在频率为10 kHz,电场强度为6×105V/cm时,其介电可调率达到13%,品质因子(FOM)达到32.5.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	任巍	西安交通大学电子陶瓷与器件教育部重点实验室	7	6	1.0	2.0
2	阎鑫	长安大学材料科学与工程学院	13	44	4.0	6.0