分级分段金手指精度控制方法

• 作者: 吕红刚 宋江珂 张建
• 来源期刊: 印制电路信息
• 学科: 工学
• 关键词: 分级分段金手指 精度控制 选择性感光湿膜
• 年，卷（期）: 2011,（9）
• 所属期刊栏目: 图形转移
• 页码范围: 28-30
• 分类号: TN41
• 字数: 1984字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1009-0096.2011.09.008

摘要

分析了选择湿膜制作分级分段金手指的精度控制主要因素，通过对工艺参数、菲林尺寸补偿控制及对位精度的研究，建立了工艺规范和控制计划，提高了分级分段金手指尺寸精度。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吕红刚		10	33	4.0	5.0
2	宋江珂		1	2	1.0	1.0
3	张建		6	6	2.0	2.0