芯片搬运机械手设计

• 作者: 侯博 王世杰 阎明印
• 来源期刊: 机械设计与制造
• 学科: 工学
• 关键词: 机械手 芯片 自动化
• 年，卷（期）: 2011,（10）
• 所属期刊栏目: 设计与计算
• 页码范围: 35-36
• 分类号: TH122|TP241
• 字数: 1025字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-3997.2011.10.014

摘要

介绍了在芯片加工过程中用于芯片搬运的一种三自由度机械手.该机械手中设置有三个吸头,各个吸头之间的间距可调,能够实现三个芯片的同时抓取动作,同时又可适应不同间距的写头和料盘的应用要求.该机械手明显提高了生产效率和精度,实现了芯片加工的自动化.在全面深入地总结相关文献的基础上,还针对与课题相关的理论和实际问题进行了比较全面、深入、系统地研究,取得了一些具有理论意义与工程实际价值的成果.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王世杰	沈阳工业大学机械工程学院	133	606	12.0	18.0
2	侯博	沈阳工业大学机械工程学院	1	7	1.0	1.0
3	阎明印	沈阳工业大学机械工程学院	10	36	4.0	5.0