化学机械抛光在光学晶体加工中的应用

• 作者: 乔红斌 储向峰 朱小华 汤丽娟 董永平
• 来源期刊: 金刚石与磨料磨具工程
• 学科: 工学
• 关键词: 晶体 表面加工 化学机械抛光
• 年，卷（期）: 2012,（1）
• 页码范围: 23-28,33
• 分类号: TG58
• 字数: 6588字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-852X.2012.01.007

摘要

晶体材料的深入研究加速了现代科学技术的发展,其需求量也迅速增加.在很多应用领域要求晶体的表面超光滑,因此晶体表面处理和加工成为目前研究的热点.介绍了几种典型光学晶体(蓝宝石晶体、铌酸锂晶体、三硼酸锂晶体、碲锌镉晶体、氧化镁晶体、碳化硅晶体和锑化铟晶体)化学机械抛光的最新研究成果,并探讨了光学晶体化学机械抛光存在的问题及发展趋势.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	储向峰	安徽工业大学化学化工学院	59	209	6.0	11.0
2	董永平	安徽工业大学化学化工学院	45	183	7.0	11.0
3	乔红斌	安徽工业大学化学化工学院	26	169	8.0	12.0
4	汤丽娟	安徽工业大学化学化工学院	4	31	3.0	4.0
5	朱小华	安徽工业大学化学化工学院	3	27	2.0	3.0