新型砷化镓多晶高压合成炉设计与制造

• 作者: 刘立起
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 合成炉 砷化镓多晶 设计与制造
• 年，卷（期）: 2012,（6）
• 所属期刊栏目: 材料制备工艺与设备
• 页码范围: 35-38,48
• 页数: 5页
• 分类号: TF806.1
• 字数: 3379字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4507.2012.06.010

摘要

在分析原卧式砷化镓多晶合成炉缺陷的基础上．借鉴其它进口砷化镓单晶炉体部分结构优点，综合创新设计等制造出立式砷化镓多晶合成炉。经过300多炉次砷化镓多晶合成，证实新型砷化镓合成炉具有装、取料方便、电极不易沉积砷、炉体清洁快速等优点。由于提高了新合成炉密闭性及增强了石墨系统稳定性，从而保证了砷化镓多晶合成产品的一致性。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘立起	中国电子科技集团公司第四十六研究所	3	1	1.0	1.0