感应耦合等离子体刻蚀在聚合物光波导制作中的应用

• 作者: 孙小强 岳远斌 张大明 张琨 李彤
• 来源期刊: 中国光学
• 学科: 工学
• 关键词: 聚合物光波导 倒脊形光波导 感应耦合等离子体(ICP)刻蚀
• 年，卷（期）: 2012,（1）
• 所属期刊栏目: 光波导
• 页码范围: 64-70
• 页数: 7页
• 分类号: TN252|TN405.98
• 字数: 2809字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.2095-1531.2012.01.010

摘要

提出了利用感应耦合等离子体（ICP）刻蚀技术提高聚合物光波导器件性能的方法,介绍了ICP刻蚀技术的原理和优点。选取聚甲基丙烯酸甲酯-甲基丙烯酸环氧丙酯（P（MMA-GMA））作为波导材料,采用氧气作为刻蚀气体,研究了ICP参数变化对刻蚀效果的影响。介绍了倒脊形光波导的制备过程,采用改变单一工艺参数的方法,分析了刻蚀效果随时间、功率、压强、气体流量等参数的变化,对参数优化后刻蚀得到的凹槽和平板结构进行了表征。实验结果表明：在天线射频功率为300 W,偏置射频功率为30 W,气体压强为0.5 Pa,氧气流速为50 cm3/min的条件下,可获得侧壁陡直、底面平整的P（MMA-GMA）凹槽结构。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李彤	吉林大学电子科学与工程学院集成光电子学国家重点联合实验室	77	213	8.0	10.0
2	张琨	吉林大学电子科学与工程学院集成光电子学国家重点联合实验室	25	114	8.0	10.0
3	孙小强	吉林大学电子科学与工程学院集成光电子学国家重点联合实验室	19	62	4.0	7.0
4	张大明	吉林大学电子科学与工程学院集成光电子学国家重点联合实验室	44	113	6.0	9.0
5	岳远斌	吉林大学电子科学与工程学院集成光电子学国家重点联合实验室	5	15	2.0	3.0