基于有限体积法的MOCVD系统反应室的设计

• 作者: 周凯 田振夫 秦琦 莫晓亮 陈国荣
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: GaN 金属有机化合物化学气相沉积系统 数值模拟 有限体积法
• 年，卷（期）: 2012,（6）
• 所属期刊栏目: 工艺设备
• 页码范围: 457-462
• 分类号: TB43
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7126.2012.06.02

摘要

金属有机化合物化学气相沉积(MOCVD)系统是制备CaN等半导体薄膜材料和激光器、LED等光电子器件的主要手段,制备出的材料和器件的品质直接依赖于MOCVD系统.本文基于有限体积法,利用商业软件Fluent对自行设计的一种MOCVD反应室内的温度分布和流场进行数值模拟.希望通过对模拟流场品质的细致分析,对MOCVD反应室的设计和优化起到指导与参考作用.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	田振夫	复旦大学力学与工程科学系	13	140	8.0	11.0
2	陈国荣	复旦大学材料科学系	35	270	10.0	14.0
3	周凯	复旦大学力学与工程科学系	2	8	1.0	2.0
4	莫晓亮	复旦大学材料科学系	19	118	8.0	10.0
5	秦琦	复旦大学力学与工程科学系	1	8	1.0	1.0