多关节机械手在晶圆减薄机中的应用

• 作者: 常亮 王仲康 石伟 衣忠波
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 多关节机械手 自由度 晶圆减薄机
• 年，卷（期）: 2012,（7）
• 所属期刊栏目: 封装技术与测试
• 页码范围: 19-21,48
• 页数: 4页
• 分类号: TH133.5|TN305.1
• 字数: 1413字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4507.2012.07.006

摘要

从机械手工艺应用、结构设计、电气控制、推广应用等几方面介绍了多关节机械手在晶圆减薄机中的应用。晶圆减薄机作为封装领域的重要设备,它的开发和应用,对我国封装产业的发展具有重大意义。多关节机械手是全自动晶圆减薄设备晶圆传输的核心部件,直接体现了设备的自动化程度。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	常亮		4	7	1.0	2.0
2	衣忠波		2	4	1.0	2.0
3	石伟		1	0	0.0	0.0
4	王仲康		3	2	1.0	1.0