铈、铽和铥的溅射产额模拟及溅射公式的参数

• 作者: 李之杰 金木其乐
• 来源期刊: 内蒙古民族大学学报：自然科学版
• 学科: 工学
• 关键词: ACAT程序 溅射产额 入射能量 YAMAMURA半经验公式
• 年，卷（期）: 2012,（1）
• 所属期刊栏目: 物理
• 页码范围: 1-5
• 页数: 5页
• 分类号: TN305.92
• 字数: 3177字
• 语种: 中文

摘要

简单介绍了Sigmund的理论和一些基于此理论的其它经验公式,描述了YAMAMURA半经验公式的发展过程.采用ACAT模拟程序和YAMAMURA半经验公式模拟和计算了铈、铽和铥等的溅射产额,并对两种结果进行了对比和分析.由分析结果估计了YAMAMURA半经验公式计算铈的经验参数,采用该参数的公式计算和模拟进行了比较,结果符合的很好.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李之杰	内蒙古民族大学物理与电子信息学院	24	42	3.0	5.0
2	金木其乐	内蒙古民族大学物理与电子信息学院	2	3	1.0	1.0