化学机械抛光传输机器人模型及LQ控制

• 作者: 何永勇 赵建伟 路新春
• 来源期刊: 华中科技大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 传输机器人 化学机械抛光 动力学建模 线性二次型 最优控制
• 年，卷（期）: 2012,（z2）
• 页码范围: 12-16
• 分类号: TG508.692|TP24
• 语种: 中文

摘要

针对具有七自由度化学机械抛光传输机器人(CMPTR),运用拉格朗日方程和牛顿力学相结合的方法,建立非线性系统CMPTR的动力学模型.对模型进行泰勒级数展开,并线性化得CMPTR状态空间方程,便于使用LQ最优控制对其进行控制.其中性能指标是由各状态量的累积运动误差与控制量的代数和构成,通过寻找一条最优控制律使其最小,从而使CMPTR的精度和控制能量消耗都取得满意效果.仿真实验验证了系统的稳定性,也验证了系统建模和LQ控制器设计的合理性和有效性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	何永勇	清华大学精密仪器与机械学系	62	1239	20.0	33.0
2	路新春	清华大学精密仪器与机械学系	32	285	10.0	15.0
3	赵建伟	清华大学精密仪器与机械学系	4	30	2.0	4.0