分子束外延生长的极性与非极性BeZnO薄膜的比较研究

• 作者: 吴天准 张权林 汤子康 王玉超 苏龙兴 陈明明
• 来源期刊: 发光学报
• 学科: 物理学
• 关键词: BeZnO 蓝宝石 晶体取向 分子束外延 光致发光
• 年，卷（期）: 2013,（11）
• 所属期刊栏目: 器件制备及器件物理
• 页码范围: 1483-1488
• 页数: 6页
• 分类号: O484
• 字数: 1122字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/fgxb20133411.1483

摘要

采用分子束外延设备在不同晶面蓝宝石衬底上(c面,a面,r面)生长BeZnO薄膜.使用复合缓冲层生长得到了高质量的BeZnO薄膜,X射线衍射半高宽达到600 arcsec.在c面与a面蓝宝石衬底上生长得到了极性BeZnO薄膜,在r面蓝宝石上生长得到了非极性BeZnO薄膜.共振拉曼光谱测试结果表明薄膜中的Be含量在同一水平.相对于c面与a面蓝宝石上的极性BeZnO薄膜,生长在r面蓝宝石衬底上的非极性BeZnO薄膜具有较大的表面粗糙度以及较大的半高宽,但是其光致发光谱中的紫外发光峰远远强于极性BeZnO薄膜,并且黄绿光发光峰弱于极性BeZnO薄膜.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	汤子康	中山大学理工学院光电材料国家重点实验室	7	35	3.0	5.0
3	王玉超	中山大学理工学院光电材料国家重点实验室	3	6	1.0	2.0
4	吴天准	中国科学院深圳先进技术研究院	4	2	1.0	1.0
5	陈明明	中山大学理工学院光电材料国家重点实验室	3	6	1.0	2.0
6	苏龙兴	中山大学理工学院光电材料国家重点实验室	5	8	2.0	2.0
7	张权林	中山大学理工学院光电材料国家重点实验室	4	6	1.0	2.0