剑桥大学CCS系统实现6英寸硅晶片生长氮化镓外延

• 作者: 赵佶
• 来源期刊: 半导体信息
• 学科: 教育
• 关键词: CCS系统 硅晶片 氮化镓 MOCVD 调试工作 光致发光 研究中心 皮尔斯 托尼 原子力显微镜
• 年，卷（期）: bdtxx_2013,（3）
• 页码范围: 19-19
• 页数: 1页
• 分类号: G649.561

摘要

【正】德国爱思强股份有限公司(Aixtron)日前宣布,剑桥大学在材料科学与冶金系的新设施中成功完成另一套多晶片近耦合喷淋头(CCS)MOCVD反应器的调试工作。据爱思强称,剑桥大学该套6×2英寸的CCS系统将配置为可以处理一片6