柔性衬底上AZO薄膜的生长及表征

• 作者: 方芳 方铉 李晓妮 李金华 楚学影 陈新颖 魏志鹏
• 来源期刊: 长春理工大学学报（自然科学版）
• 学科: 物理学
• 关键词: ALD ZnO薄膜 柔性衬底
• 年，卷（期）: 2013,（1）
• 页码范围: 78-80,83
• 页数: 4页
• 分类号: O78
• 字数: 1858字
• 语种: 中文

摘要

用原子层沉积方法在柔性PET衬底上制备了AZO(掺铝氧化锌)薄膜,研究了Al的掺杂对ZnO薄膜的形貌,光学性能和电学性能的影响,结果表明:当掺杂量约为3％的AZO薄膜表面比较平整,晶粒分布比较均匀,薄膜仍具有纤锌矿晶体结构,由于掺杂所引入的应力使得薄膜的C轴取向性有所退化；PL光谱表明,与带边相关的激子发射谱没有明显变化,但与缺陷相关的发光明显增强.同时HALL测试得到AZO薄膜载流子浓度相比ZnO薄膜提高了大约一个数量级(3％Al掺杂时,为3.62X1020),但迁移率有所降低(3％Al掺杂时为9.66cm2-1S-1).

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李金华		43	136	6.0	9.0
2	方铉		37	60	4.0	6.0
3	魏志鹏		44	104	5.0	8.0
4	方芳		11	63	4.0	7.0
5	楚学影		19	54	4.0	5.0
6	李晓妮		2	11	2.0	2.0
10	陈新颖		2	11	2.0	2.0