退火温度和涂膜层数对溶胶-凝胶法制备ZnO薄膜微结构及光学特性的影响

• 作者: 刘以良 张丽 徐明 袁欢 黄勤珍
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 化学
• 关键词: ZnO薄膜 溶胶-凝胶 透射率 光致发光
• 年，卷（期）: 2013,（3）
• 页码范围: 516-520,528
• 页数: 6页
• 分类号: O631
• 字数: 3542字
• 语种: 中文

摘要

采用溶胶-凝胶法在玻璃基片上制备了ZnO薄膜,研究了退火温度和涂膜层数对ZnO薄膜结晶性和光学特性的影响.扫描电镜(SEM)结果表明,退火温度的升高使得薄膜致密性和均匀性均得到改善.旋涂10层以上的薄膜其表面形貌明显要好于旋涂5层的薄膜样品,但旋涂10层和20层的薄膜其形貌和微结构差异并不显著.XRD图谱表明所有样品都具有纤锌矿结构,随着热处理温度的升高,各衍射峰强度增大,晶粒尺寸变大.光致发光(PL)测量显示,退火温度越高,涂膜层数越少,其PL谱发光强度越强.紫外-可见透过谱发现,涂膜层数越少,透射率越高；而提高退火温度也有助于改善薄膜透射率.结合已得到的微结构信息,对观察到的光学性能进行了合理解释,综合认为旋涂10层并在600℃退火是溶胶凝胶法制备ZnO薄膜的最佳生长条件.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	黄勤珍	西南民族大学电气信息工程学院信息材料四川省重点实验室	30	79	5.0	7.0
2	徐明	西南民族大学电气信息工程学院信息材料四川省重点实验室	15	62	5.0	7.0
3	刘以良	西南民族大学电气信息工程学院信息材料四川省重点实验室	10	19	3.0	3.0
4	张丽	西南民族大学电气信息工程学院信息材料四川省重点实验室	3	14	2.0	3.0
5	袁欢	西南民族大学电气信息工程学院信息材料四川省重点实验室	5	9	2.0	3.0